Просмотр записи
| Cиcт.нoмep | 001753613 |
| Идeнтиф. | RU\NLR\AUTH\6601753613 |
| Версия | 20250404135719.0 |
| Bлaдeлeц | PUBLIC |
| Заголовок | Рентгенолитография |
| Cм.для кapт. | Литография рентгеновская |
| Б.широкое | Литография |
| Б.узкое | Интегральные схемы Производство Применение рентгенолитографии |
| Cм.тaкжe | Фотолитография Фотолитография |
| Индекс ББК | М831 |