Просмотр записи
| Cиcт.нoмep | 001505926 |
| Идeнтиф. | RU\NLR\AUTH\661573435 |
| Версия | 20260416104744.0 |
| Bлaдeлeц | PUBLIC |
| Заголовок | Микроэлектромеханические системы |
| Сс. от | МЭМС системы |
| MEMS (Micro Electro Mechanical System) | |
| Б.широкое | Микроэлектроника |
| Б.узкое | Коммутационная аппаратура микроэлектромеханическая |
| Индекс ББК | З26 |
| З291 | |
| Пpим.kaтaлoг. | Микроэлектромеханические системы - устройства, объединяющие в себе микроэлектрические и микромеханические компоненты. МЭМС состоят из механических элементов, датчиков,электроники, приводов и устройств микроэлектроники, расположенных на общей кремниевой подложке. |