Просмотр записи
| Cиcт.нoмep | 001342776 |
| Идeнтиф. | RU\NLR\AUTH\661410277 |
| Версия | 20111020134451.0 |
| Заголовок | Микросистемная техника |
| Б.широкое | Микроэлектроника |
| Б.широкое | Микротехнология |
| Б.узкое | Микроэлектромеханические приборы |
| Б.узкое | Микроэлектромеханические приборы ВЧ |
| Б.узкое | Микроострия |
| Б.узкое | Микромеханические датчики |
| Индекс ББК | З8 |
| Источник | Варадан В., Виной. К., Джозе К. ВЧ МЭМС и их применение |