Просмотр записи

Cиcт.нoмep	001261347
Идeнтиф.	RU\NLR\AUTH\661327006
Версия	20250404134256.0
Bлaдeлeц	PUBLIC
Заголовок	Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод
Сс. от	Фотолитография в производстве интегральных схем
Б.широкое	Фотолитография
Индекс ББК	З844.15-06