Просмотр записи
| Cиcт.нoмep | 000618163 |
| Идeнтиф. | RU\NLR\AUTH\66656586 |
| Версия | 20250404134913.0 |
| Bлaдeлeц | PUBLIC |
| Заголовок | Интегральные схемы -- Производство -- Применение рентгенолитографии |
| Сс. от | Интегральные схемы -- Производство -- Ренгенолитографические методы |
| Рентгенолитография в производстве микросхем | |
| Б.широкое | Рентгенолитография |
| Индекс ББК | З844.15-06 |