Просмотр записи
| Cиcт.нoмep | 000452351 |
| Идeнтиф. | RU\NLR\AUTH\66481654 |
| Версия | 20070822141906.0 |
| Заголовок | Металлизация в производстве интегральных схем |
| См. для ЭК | Интегральные схемы -- Металлизация |
| Б.широкое | Интегральные схемы Производство |
| Индекс ББК | З844.15-060.7 |