Просмотр записи
| Cиcт.нoмep | 000310439 |
| Идeнтиф. | RU\NLR\AUTH\66331604 |
| Версия | 19961217000000.0 |
| Заголовок | Полупроводниковые приборы -- Производство -- Материалы |
| Б.узкое | Глинозем Тонкие пленки Применение в производстве полупроводниковых приборов |
| Б.узкое | Нитриды кремния Применение в полупроводниковых приборах |
| Б.узкое | Металлы химически чистые в электронике |