Просмотр записи

Cиcт.нoмep	000174066
Идeнтиф.	RU\NLR\AUTH\66186470
Версия	20031003103245.0
Заголовок	Интегральные схемы -- Производство
Б.широкое	Электроника пленочная
Б.узкое	Вакуумные распылители для производства радиотехнических микросхем
Б.узкое	Вода в производстве микросхем
Б.узкое	Газовые разряды Применение в производстве интегральных схем
Б.узкое	Электротехническая керамика Применение в производстве интегральных схем
Б.узкое	Ионолитография в производстве интегральных схем
Б.узкое	Лазеры Применение в производстве интегральных схем
Б.узкое	Металлизация в производстве интегральных схем
Б.узкое	Микролитография в производстве интегральных схем
Б.узкое	Прецизионные приборы в производстве интегральных схем
Б.узкое	Экспонирование в производстве интегральных схем
Б.узкое	Проекторы для производства микросхем
Б.узкое	Стеклянные электроизолирующие материалы в производстве микросхем
Б.узкое	Травление Применение в производстве микросхем
Б.узкое	Трехмерные интегральные схемы на термопластах
Индекс ББК	З844.15-06