Просмотр записи
| Cиcт.нoмep | 000169363 |
| Идeнтиф. | RU\NLR\AUTH\66181386 |
| Версия | 19970430000000.0 |
| Заголовок | Тонкие пленки -- Нанесение в вакууме -- Оборудование |
| Б.широкое | Вакуумное оборудование |
| Б.узкое | Вакуумные распылители для производства радиотехнических микросхем |
| Б.узкое | Вакуумные насосы геттерно-ионные для нанесения тонких пленок |
| Б.узкое | Электронные пушки производственные для нанесения тонких пленок |